广州理工学院孵化的大学生创业团队-广州精晶半导体设备有限责任公司再创佳绩。2026年5月7日,第八届广州女性创客(创新创业创造)大赛颁奖典礼在广州科学城国际企业孵化器圆满落幕。我校集成电路芯片量测与设备实验室学生团队成员林依淳、贺彬彬,作为广州理工学院孵化的大学生创业团队成员,依托实验室技术成果,参与创办的广州精晶半导体设备有限责任公司,凭借“28nm以下先进制程无图案晶圆微纳米缺陷量测设备国产化”项目-晶圆量测无图案晶圆微纳米级缺陷光学量测技术、系统及推广,在初创组赛道中脱颖而出,斩获优胜奖,用科创实力展现了青年学子在半导体关键领域的担当,也彰显了新时代女性科技工作者在硬科技创新赛道上的巾帼力量。
本次大赛由广州市女科技工作者协会等单位主办,汇聚了生物医药、人工智能、绿色科技等多个前沿赛道的优秀项目,经层层遴选评审,最终17家企业及团队脱颖而出,其中成长组12家、初创组5家,
我校参赛项目聚焦半导体先进制程设备“卡脖子”难题,依托实验室技术积累,以物理第一性原理为基础,创新开发了基于应力集中与泰伯效应的光学量测系统,实现±10nm超高精度检测,为国产半导体量测设备突破海外垄断提供了新的技术路径。
自项目启动以来,团队成员扎根实验室,在导师的指导下反复打磨技术方案,攻克了高精度条纹分析、高速动态检测等多项核心技术难题。为了让产品真正贴合产业需求,团队于2025年8月-12月深入上海、苏州、深圳等地,走进多家头部半导体厂商,调研了100多个型号、200多台套中大型主力晶圆量测设备,覆盖全前道量测工艺,并完成了本项目仪器的现场展示与试用,最终顺利通过中芯国际7nm制程工厂现场测试,与多家半导体企业达成合作意向。
本次获奖不仅是对团队技术成果的肯定,更是实验室坚持“以赛促学、以研促创”育人理念的生动体现。近年来,集成电路芯片量测与设备实验室持续深化产学研融合,聚焦半导体产业国产替代需求,鼓励学生参与高水平科创赛事与科研项目,着力培养兼具技术能力与创新思维的复合型人才。未来,实验室将继续发挥科研与人才优势,推动项目成果转化落地,为我国半导体产业高质量发展贡献青年力量。






稿件来源:智能制造与电气工程学院
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